（1）单向流洁净室，又称层流（Laminar）、活塞流等。空气气流运动成一均匀直线，空气由覆盖率的过滤器进入室内，并由高架地板或者两侧隔墙板回风，此形式适用于洁净室等级需求较高的环境，一般洁净室等级为Class 1~100。可分为水平单向流和垂直单向流。
（2）乱流洁净室：空气由空调箱经风管与洁净室内之过滤器（HEPA）进入洁净室，并由洁净室两侧隔离墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此形式适用于洁净室等级1000-100000级。
（3）复合式洁净室（Mixed Type ），又称混合流洁净室，为将乱流式和层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净的空气。
（4）矢流洁净室：由扇形高效过滤器圆心沿各方向半径送出的具有相同速度的矢量流，应用这种气流的洁净室称为矢流洁净室。它是靠流线（迹线） 不交叉的气流斜推作用，将室内空气排出室外，以达到净化的目的。此类洁净室理论研究不多，并且应用实例较少，大多在欧美。
