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洁净室系统的控制参数

作者:点击:158 发布时间:2023-11-08

洁净度、温度、湿度、压力、静电、气流的速度与均一性、AMC等。

  (1)洁净度:室外新风通过MAU初中高过滤器三级处理,室内循环风通过FFU下的高效过滤器对粉尘进行去除。

  (2)温度:通过回风夹道的DCC对循环风进行冷却,对室内进行降温,达到设定值。

  (3)湿度:通过MAU对室外空气进行处理,以此来调节室内的湿度。

  (4)压力:针对不同实验室的类型,室内洁净区需要不同的压力,在半导体实验室中取用微正压,保证外界不漏风进入室内影响环境温湿度、洁净度等;对于生物实验室来讲,为防止生物样本泄露,则需要使用负压实验室。

  (5)AMC:Airborne Molecular Contaminants,气态分子污染物,主是气体中酸性、碱性、有机物等,直径约在0.0003到0.007微米,如二氧化硫(SO2 )、二氧化氮(NO2)、臭氧(O3)、甲醛(HCHO)、硫化氢(H2S)、 二氧化碳(CO2 )等。通过FFU顶部安装化学过滤器进行去除。


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