洁净室气流控制的方法主要包括以下几个方面:
选择合适的通风系统:根据洁净室的等级和工艺要求,选择适合的通风系统,如单向流洁净室通风系统、非单向流洁净室通风系统或混合流洁净室通风系统等。
高效过滤器的应用:洁净室应配备高效过滤器(如HEPA或ULPA过滤器),以过滤空气中的尘埃粒子和其他污染物,确保进入洁净室的空气质量。
气流速度的控制:合理设置气流速度,避免气流速度过大导致粉尘二次飞扬,或气流速度过小无法满足洁净要求。
气流组织的设计:设计合理的气流组织,如采用上送下回或侧送侧回的方式,确保空气能够均匀分布并有效排除污染物。同时,应避免涡流和死角的出现。
回风系统的设计:回风系统的设计应合理,以保证回风空气的质量满足洁净空调系统的要求。对于洁净度要求高的非单向流洁净室或长宽比较大的洁净室,应尽量采用小风量多回风口数量的方案。
层流与湍流的应用:根据洁净室的具体需求,可以采用层流(单向流)或湍流(非单向流)气流原理来控制空气中的颗粒。层流系统通过空气以层的形式从顶棚流向地面,确保空气流动的稳定性和洁净度。
压力控制:在洁净室中,压力控制也是确保气流稳定性的重要因素。通过合理的压力设置,可以保障气流结构的稳定性,并引导气道盲区的气流向排风口(回风口)运动。
通过综合运用这些方法,可以确保洁净室内部环境的洁净度和气流组织的稳定性。