洁净室的气流组织设计是确保室内洁净度和空气质量的关键因素。以下是几种常见的洁净室气流组织设计方式:
1、单向流洁净室:
气流以均匀的截面速度,沿着平行流线以单一方向在全室截面上通过。
工作区内流线单向平行,没有涡流,能够迅速稀释并排出室内污染物质。
适用于对洁净度要求极高的场合,如精密机械、半导体制造等。
2、非单向流(乱流)洁净室:
气流在室内形成多个涡流和回流,通过提高送风量和合理布置送、回风口来实现洁净度要求。
适用于对洁净度要求稍低的场合,通过优化气流组织设计也能达到较高的洁净度水平。
3、混合流洁净室:
结合了单向流和非单向流的特点,通过局部区域采用单向流设计,其余区域采用非单向流设计。
既能满足高洁净度区域的需求,又能降低整个洁净室的运行成本。
4、上送下回气流组织:
送风口通常设置在洁净室顶部,回风口设置在地面或墙面下部。
气流从上至下流动,能够较好地排除室内污染物,并避免涡流和死角的产生。
5、侧送侧回气流组织:
送风口和回风口均设置在洁净室侧墙面上,通过合理布置送、回风口的位置和数量来实现气流组织的优化。
适用于长宽比较大的洁净室,通过分散送风、集中回风的方式,减少涡流区,提高洁净度。