洁净室系统的压差设置是一个非常重要的环节,因为它直接关系到洁净室的洁净度、安全性和能效。压差设置的主要目的是防止污染物从高污染区域扩散到低污染区域,同时确保洁净室内的空气流动合理、稳定。
一般来说,洁净室系统的压差设置应遵循以下原则:
不同洁净度级别的房间之间:为了防止污染物从高污染区域扩散到低污染区域,相邻洁净度级别不同的房间之间应保持一定的压差。通常,较高洁净度级别的房间应保持相对正压,而较低洁净度级别的房间或污染区域应保持相对负压。具体压差值应根据实际情况和洁净度要求来确定,但一般建议在5~10Pa之间。
洁净室与走廊、室外之间:为了确保洁净室内的空气不受到走廊、室外等污染区域的干扰,洁净室与这些区域之间也应保持一定的压差。同样地,洁净室应保持相对正压,而走廊、室外等区域应保持相对负压。具体压差值也应根据实际情况和洁净度要求来确定,但一般也建议在5~15Pa之间。
需要注意的是,压差设置并不是一成不变的,它应根据洁净室的实际使用情况、污染物产生情况、人员流动情况等因素进行动态调整。同时,为了确保压差设置的准确性和稳定性,还应定期对洁净室系统的压差进行监测和维护。