废气收集系统是处理流程的起点，其设计直接影响后续处理效果。集气罩需根据污染源特性选择合适形式，如密闭式、半密闭式或外部抽吸式。管道网络设计要考虑气流分布均匀性，流速通常控制在8-15m/s以防止沉积。风量平衡计算确保各支管压力损失匹配，避免短路或回流。防爆设计在易燃气体处理中尤为重要，包括导电材料和静电接地等措施。
预处理单元为后续工艺创造适宜条件。颗粒物去除通常采用过滤或多级旋风分离，保护后续设备免受磨损。温湿度调节系统可能包含冷却塔或加热器，使废气参数进入处理装置的更佳范围。浓度均化通过缓冲罐或混合室实现，平抑生产过程导致的波动。这些预处理步骤虽不直接去除VOCs，但对系统稳定运行至关重要。
核心处理装置根据污染物特性专门设计。吸附技术适用于中低浓度废气，常用活性炭或分子筛作为吸附剂。催化燃烧适合连续排放的中高浓度废气，催化剂选择要考虑耐毒性和起燃温度。生物处理对水溶性好的VOCs效果明显，需优化菌种和填料结构。等离子体技术适用于难降解物质，但能耗较高。这些主处理单元的选择需综合考量废气成分、浓度和处理标准。
后处理系统完善净化效果。深度吸附床可捕捉残余污染物，确保达标排放。除雾器去除处理过程中产生的液滴或气溶胶。气味控制可能包括化学洗涤或臭氧氧化，改善感官指标。在线监测系统实时反馈排放数据，为工艺调整提供依据。这些后处理环节虽规模较小，但对满足严厉排放标准不可或缺。
辅助系统保障整体运行。控制系统集成传感器和执行器，实现自动化运行。安全系统包括气体检测、消防和应急排放装置。能源回收单元如热交换器可提高系统能效。这些辅助设施虽不直接参与净化，但对系统的可靠性、安全性和经济性有重大影响。
