洁净室检漏系统操作需先做好前期准备，关闭洁净室与外界的通道，维护系统处于稳定运行状态，使室内压力、气流达到正常工作参数。准备好检漏所需的仪器设备，如粒子计数器、发尘器等，并对仪器进行校准，维护检测精度。
操作时，先通过发尘器向洁净室送风系统送入特定浓度的示踪粒子，使粒子在系统内均匀分布。随后，使用粒子计数器对需要检漏的部位进行扫描检测，重点检测高效过滤器的边框、密封处、安装接口以及围护结构的缝隙、门窗密封处等易泄漏部位。扫描过程中需保持粒子计数器探头与检测部位的距离稳定，移动速度均匀，维护检测全面无遗漏。
检测完成后，分析检测数据，判断是否存在泄漏。若检测到粒子浓度异常升高，说明该部位存在泄漏，需标记泄漏位置并进行密封处理，处理完成后再次进行检漏，直至检测合格。操作过程中需严厉遵循操作规范，避免因操作不当影响检测结果的准确性。
