洁净室内人员着装需遵循防尘、防污染原则，选用不易产生静电、不易脱落纤维的专用洁净服，洁净服应适配全身，包括头部、脚部、手部等部位，避免人体毛发、皮屑等污染物散发到洁净室内。着装前需在洁净更衣室内进行清洁，去除体表灰尘，禁止携带饰品、化妆品等易产生污染的物品进入洁净室。
着装时需按照规范顺序穿戴，先穿洁净服裤子，再穿上衣，随后佩戴洁净帽、口罩、手套、洁净鞋等配件。洁净帽应将头发包裹，口罩需贴合面部，防止呼吸产生的飞沫扩散；手套应套在洁净服袖口外侧，避免手部皮肤直接接触洁净室内的物品；洁净鞋需适配脚部，防止鞋底携带污染物。
着装完成后，需通过风淋室等净化设备，去除洁净服表面的灰尘，方可进入洁净室。在洁净室内活动时，需保持着装整洁，避免洁净服破损、脱落纤维，若发现着装污染或破损，应及时更换。离开洁净室时，需按与着装相反的顺序脱下洁净服，并存放在指定位置，进行一致清洁消毒。
