根据气流的流动状态分，主要有以下三种气流分布的洁净室：
（1） 非单向流洁净室：以前叫湍流洁净室，室内气流不都是单向流动的。非单向洁净室有几个共同特点：末端过滤器(高效或次高效)尽可能靠近洁净室，可以是送风口或直接连接送风口，也可以连接房间的送风静压箱；回风口都设在洁净室的下部，避免了“扬尘”现象。涡旋存在于所有非单向洁净室中，因此不适用于高洁净度洁净室，而适用于6~9级洁净室。
（2） 单向流洁净室：单向流洁净室以平行流线、单向流动、截面上风速相同为特征，包括垂直单向流洁净室、准垂直单向流洁净室、水平单向流洁净室等。
（3） 矢量洁净室：房间上角采用扇形高效过滤器送风，也可采用扇形送风口配合普通高效过滤器，另一侧下部设置回风口。房间的高宽比一般在0.5到1之间。这种洁净室也能达到5级(100级)洁净度。
洁净室的流型基本上是以上三种，但在实际应用中可以演变成多种形式。洁净室可以是单向流和非单向流的混流型，从而在局部区域(单向流部分)实现高水平洁净室。比如在洁净室设置水平单向流动(一侧开放)的隧道，洁净室其余部分为涡流单向流动模式，使隧道部分洁净度达到5级以上，工作台位于隧道内。
