洁净室系统要达到洁净等级，必须采取综合措施，包括工艺布局、建筑平面、建筑结构、建筑装修、人员和材料净化、空气净化措施、维护管理等。其中，空气净化措施是达到洁净水平的根本保证。就空气清洁度而言，主要有以下具体措施：
(1)洁净室的空气供应必须是高洁净度的空气。因此，必须选择高效或次高效过滤器(当洁净度水平较低时)作为终端过滤器，以过滤进入洁净室的空气。为了保护终端过滤器，延长其使用寿命，空气必须先经过中效过滤器过滤。
(2)根据洁净室的等级，合理选择洁净室的气流组织形式，避免工作区出现涡流区；尽量使送入室内的洁净空气直接到达工作区域；气流有助于洁净室中的颗粒从回风口排出。
(3)足够的风量，既能稀释空气中的粉尘浓度，又能保证稳定的气流模式。
(4)不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室、洁净室与室外应保持一定的正压值。
