VOCs废气处理设备中热分解工艺一般分为直燃（TO）、蓄热焚烧（RTO）、催化燃烧（CO）、蓄热催化燃烧（RCO）四种，只是燃烧方式和换热方式的两两组合不同，主要是用于处理吸附浓缩气，也可以用于直接处理废气浓度大于3.5g/m3的中高浓度废气。
TO是将高浓度废气直接送入燃烧室直接燃烧，高温燃烧气通过换热器与新进废气间接换热后排掉，换热效率一般低于60%，导致运行成本很高，只有少数能有效利用排放预热或有副产燃气的企业中应用。RTO的燃烧方式和TO相同，只是将换热器改为蓄热陶瓷，高温燃烧与新进废气交替进入蓄热陶瓷换热，热利用率达到90%以上，运行成本较低，是目前的主流工艺。
CO是有机废气源通过引风机作用送入净化装置换热器换热，再送入加热室，通过电加热装置，使气体达到催化反应温度，并在催化室内催化剂的作用下，分解成CO2和H2O。有机废气分解的过程为放热反应，反应后的气体再进入换热器与低温气体进行热交换，使进入的气体升温预热。加热系统仅需通过自控系统实现补偿加热，即可完全燃烧，节省能源，且废气有效去除率达到95%以上RCO和CO燃烧方式相同，换热方式与RTO相同，投资堪比RTO且处理废气种类受催化剂影响，种类少于RTO。
综上所述，这就是现行工艺主要是RTO和CO的原因。那RTO与CO在必选方面又有什么不同呢？
废气种类上：含硫磷类废气会使CO中毒，不能用CO。忽略少部分硫磷类废气的燃烧腐蚀可以限制性使用RTO。两种工艺都不能处理含卤代烃废气，避免产生二噁英。含硅烷类废气使用要注意考虑二氧化硅的堵塞问题。RTO预处理要达到F6级，CO预处理仅需G4级别。
