洁净室和洁净区的洁净度主要是通过输送足够的洁净空气来置换和稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。因此,需要对洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流方向和流型进行测量。
单向流动主要依靠洁净气流推动和置换室内和区域内的污染空气,维持室内和区域内的清洁度。因此,送风段的风速和均匀度是影响洁净度的重要参数。更高、更均匀的截面风速可以更快、更有效地消除室内过程产生的污染物,因此是人们关注的主要检测项目。
非单向流动主要是依靠送进来的洁净空气对房间和区域内的污染物进行稀释和稀释,以维持其洁净度。所以换气次数越多,气流模式越合理,稀释效果越明显,洁净度越高。因此,非单相流洁净室和洁净区的送风量和相应的换气次数是主要的气流测试项目。
为了获得可重复的读数,记录每个测量点风速的时间平均值。
换气次数:根据洁净室总风量除以洁净室容积得出。